ULVAC愛(ài)發(fā)科油旋轉(zhuǎn)真空泵 VS300A-W

2025/07/07 14:23:06

“型號(hào)：VS300A-W”是旋片式（單級(jí)型）油旋轉(zhuǎn)真空泵。憑借同類(lèi)產(chǎn)品中*小的占地面積，現(xiàn)在可以直接安裝機(jī)械增壓泵。此外，它還具有內(nèi)置的油霧分離器和回油機(jī)構(gòu)，可長(zhǎng)期提供穩(wěn)定的排氣性能。此外，它的設(shè)計(jì)還考慮到了易于維護(hù)，例如更換油和元件。

長(zhǎng)處

它采用緊湊的設(shè)計(jì)，占地面積

*小□同類(lèi)產(chǎn)品中*小，× 874404 毫米。

機(jī)械增壓泵（MBP）可以直接安裝

ULVAC愛(ài)發(fā)科油旋轉(zhuǎn)真空泵 VS300A-W

MBP 安裝套件允許安裝 MBP，而無(wú)需安裝。

它還具有內(nèi)置

油霧分離器和油回收機(jī)構(gòu)。

通過(guò)結(jié)構(gòu)油封和密封軸承兩個(gè)階段防止漏油到外部，

這不太可能導(dǎo)致漏油到外部。

配備原裝 IE3 高效多電壓電機(jī)，

單臺(tái)電機(jī)可處理寬范圍電壓。

用

光學(xué)薄膜沉積系統(tǒng)

反射鏡沉積設(shè)備

裝飾氣相沉積設(shè)備

薄膜收卷和沉積設(shè)備

在線(xiàn)濺射設(shè)備

烘烤爐 / 熱處理爐

冷凍干燥設(shè)備

泄漏測(cè)試設(shè)備

太空室

規(guī)范

型				VS300A-W 系列
設(shè)計(jì)抽速		50 赫茲	m3 / 小時(shí) （L/min）	250 (4,166)
		60 赫茲		300 (5,000)
極限壓力*1	GP 已關(guān)閉		帕	≦15
	GP 開(kāi)放			≦200
功耗（極限壓力下）		50 赫茲	千瓦	2.8
		60 赫茲		3.1
發(fā)動(dòng)機(jī)	型			全封閉風(fēng)扇式三相異步電動(dòng)機(jī)
	能力		kW （極數(shù)）	7.5（4）
	電壓	50 赫茲	V	200~240 / 380~415
		60 赫茲		200~240 / 380~460
Noise 值*阿拉伯?dāng)?shù)字（極限壓力下）		50 赫茲	分貝	70
		60 赫茲		74
使用的油				ULVOIL R-72
所需油量			L	10~15
冷卻方式				水冷式
冷卻水	入口壓力		MPaG	≦0.3
	入口壓差			≧0.1
	冷卻水量		升/分鐘	≧3.0
	冷卻水溫度		°C	5~30
	冷卻水 Δt			≦25
進(jìn)氣法蘭				DN 63 ISO-F
排氣口法蘭				G2 系列
質(zhì)量			公斤	270
尺寸 W×D×H			毫米	404×871×585
海外安全標(biāo)準(zhǔn)				CE、 cTUVus

ULVAC（愛(ài)發(fā)科）是日本*的真空技術(shù)和精密設(shè)備制造商，成立于1952年，部位于日本神奈川縣。作為全球真空行業(yè)的企業(yè)，ULVAC專(zhuān)注于真空設(shè)備、鍍膜系統(tǒng)、半導(dǎo)體制造設(shè)備、分析儀器等高科技領(lǐng)域，為電子、光伏、汽車(chē)、醫(yī)療等行業(yè)提供核心技術(shù)支持。
2. 核心技術(shù)及產(chǎn)品
ULVAC的核心業(yè)務(wù)涵蓋：
真空設(shè)備：干式真空泵、分子泵、真空測(cè)量?jī)x器等。
鍍膜技術(shù)（PVD/CVD）：用于半導(dǎo)體、光學(xué)薄膜、太陽(yáng)能電池等。
半導(dǎo)體制造設(shè)備：濺射設(shè)備、蝕刻設(shè)備、封裝設(shè)備等。
分析測(cè)試儀器：X射線(xiàn)光電子能譜儀（XPS）、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術(shù)：OLED蒸鍍?cè)O(shè)備、鋰電薄膜設(shè)備等。

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ULVAC愛(ài)發(fā)科 油旋轉(zhuǎn)真空泵 VS300A-W

規(guī)范

ULVAC愛(ài)發(fā)科油旋轉(zhuǎn)真空泵 VS300A-W