ULVAC愛發(fā)科油旋轉真空泵 VS1501

2025/07/07 14:22:10

型號：VS1501/VS2401 是一款旋片式（單級）油旋轉真空泵。水冷和強制潤滑系統(tǒng)即使在高負載下也能提供穩(wěn)定的排氣性能。

此外，它的設計考慮到了易于維護，例如使用大型油位計。

長處

采用水冷強制潤滑系統(tǒng)即使在高負荷運行時也能滿足氣缸的

供油量，與差壓潤滑系統(tǒng)相比，獲得了穩(wěn)定的排氣性能。

ULVAC愛發(fā)科油旋轉真空泵 VS1501

使用液壓油防袋當泵停止時

，可以抑制油從油箱回流到進氣側。

考慮到維護的設計

除了采用易于監(jiān)控油況的大型油位計外，它還具有用于清潔油箱和更換排氣閥的維護罩。

用

光學薄膜沉積系統(tǒng)

反射鏡沉積設備

裝飾氣相沉積設備

薄膜收卷和沉積設備

在線濺射設備

烘烤爐 / 熱處理爐

冷凍干燥設備

泄漏測試設備

太空室

規(guī)范

型				VS1501 系列	VS2401 系列
設計抽速		50 赫茲	m3 / 小時（L/min）		000）
		60 赫茲			800）
極限壓力	GP 已關閉		帕	≦ 5.3
	GP 開放			≦ 80
功耗（極限壓力下）		50 赫茲	千瓦	2.3	2.8
		60 赫茲		2.9	3.6
發(fā)動機	型			全封閉風扇式三相異步電動機
	能力		kW （極數(shù)）	5.5（4）	7.5（4）
	電壓	50 赫茲	V	200~240 / 380~415
		60 赫茲		200~240 / 380~460
Noise 值※1（極限壓力下）		50 赫茲	分貝	67	73
		60 赫茲		67	73
使用的油				ULVOIL R-72
所需油量			L	8~10.5
冷卻方式				水冷式
冷卻水	入口壓力		MPaG	≦0.5
	入口壓差			≧0.1
	冷卻水量		升/分鐘	≧4.0	≧5.0
	冷卻水溫度		°C	5~30
	冷卻水 Δt			≦10
進氣法蘭				VG80 等效值
排氣口法蘭				VG50 等效值
質(zhì)量			公斤	232	271

ULVAC（愛發(fā)科）是日本*的真空技術和精密設備制造商，成立于1952年，部位于日本神奈川縣。作為全球真空行業(yè)的企業(yè)，ULVAC專注于真空設備、鍍膜系統(tǒng)、半導體制造設備、分析儀器等高科技領域，為電子、光伏、汽車、醫(yī)療等行業(yè)提供核心技術支持。
2. 核心技術及產(chǎn)品
ULVAC的核心業(yè)務涵蓋：
真空設備：干式真空泵、分子泵、真空測量儀器等。
鍍膜技術（PVD/CVD）：用于半導體、光學薄膜、太陽能電池等。
半導體制造設備：濺射設備、蝕刻設備、封裝設備等。
分析測試儀器：X射線光電子能譜儀（XPS）、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術：OLED蒸鍍設備、鋰電薄膜設備等。

ULVAC愛發(fā)科油旋轉真空泵 ...

ULVAC愛發(fā)科 油旋轉真空泵 VS1501

規(guī)范

ULVAC愛發(fā)科油旋轉真空泵 VS1501