產(chǎn)品介紹

搭載了新開發(fā)的高效搬運(yùn)結(jié)構(gòu)和WPH優(yōu)化算法。保持采用單桌單頭、雙模塊方式等荏原的高可靠性結(jié)構(gòu)，進(jìn)一步了提高生產(chǎn)效率。采用靈活的搬運(yùn)結(jié)構(gòu)并進(jìn)一步實(shí)施防止交叉污染的措施，幫助提高成品率。此外，還采用了便于進(jìn)行改造和升級的模塊結(jié)構(gòu)，在未來擴(kuò)展功能時，也能夠迅速導(dǎo)入新功能。此外，與F-REX300X型相比耗電量減少了約10%，并通過減少部件數(shù)量，削減了供應(yīng)鏈中的CO2排放。支持更環(huán)保的半導(dǎo)體制造。

F-REX型

通過高運(yùn)轉(zhuǎn)率和高處理量，實(shí)現(xiàn)高效生產(chǎn)

干進(jìn)干出

工藝性能*

高處理量

高運(yùn)轉(zhuǎn)率

滿足多級藥液清洗要求

研磨加工終點(diǎn)檢測監(jiān)控儀（選配）

在線膜厚檢測儀（選配）

多樣化功能與靈活的裝置結(jié)構(gòu)組成

滿足SEMI-2/CE要求

北崎8年，日本會社20年，專注領(lǐng)域如下：

儀器相關(guān)：

山高SANKO（代理）、東機(jī)產(chǎn)業(yè)TOKI（代理）、索尼克SONIC（代理）、東日技研DIT（代理）、杉山電機(jī)SUGIYAMA（代理）、愛安德AND(廠家合作）、飯島電子IIJIMA、東麗TORAY、共和KYOWA、愛安德AND、豪雅HOYA（代理）

備件設(shè)備相關(guān)：

柴田SIBATA(代理）、 壺坂TSUBOSAKA（代理）、雅馬拓YAMATO、新光NEWKON（代理）、武藏MUSASHI（代理）、尼得科NIDEC（代理）、MRM(代理）、坂口電熱SAKAGUCHI（代理）、岡崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI（廠家合作）、山本鍍金YAMAMOTO、馳卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、東機(jī)理化EYELA、科庫森KOKUSAN

光源相關(guān)：

巖崎EYE（代理）、日森SEN（代理）、晰寫速CCS（代理）、萊寶克斯REVOX（代理）、索萊克SERIC(代理）、普拉瑞POLARION、船越龍F(tuán)UNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、歐阿希ORC、賽納SENA、英富麗INFLIDGE

電氣控制：

SIEMENS西門子（廠家合作）、MITSUBISHI三菱，OMRON歐姆龍（廠家合作）、基恩士KEYENCE（廠家合作）

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