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ULVAC愛發(fā)科 低溫泵 CRYO-U20P
ULVAC愛發(fā)科 低溫泵 CRYO-U20P
ULVAC愛發(fā)科 低溫泵 CRYO-U20P
低溫泵是一種伸縮式真空泵,旨在實(shí)現(xiàn)從高真空到高真空的條件。 該泵將氣體冷凝并吸附安裝在內(nèi)部的低溫表面上,并有效地捕獲它們。 低溫泵的主要特點(diǎn)是可以提供無油污染的清潔真空。
此外,值得注意的是,低溫泵盡管使用吸附方式,但與其他真空泵相比,其抽速非常高。 因此,低溫泵被廣泛用于需要清潔高效真空環(huán)境的各個(gè)行業(yè)和研究部門。
在考慮安裝低溫泵時(shí),其高性能和提供清潔真空環(huán)境的能力是一大優(yōu)勢(shì)。
長(zhǎng)處
*適于大型成膜設(shè)備等生產(chǎn)設(shè)備。
非常適合大規(guī)模批量沉積設(shè)備
機(jī)械增壓泵(羅茨泵)
通用電機(jī)式樣
PMB100D PMB300D PMB600D PMB1200D PMB2400D
PMB100D-T, PMB300D-T, PMB600D-T, PMB1200D-T, PMB2400D-T
PRC-003A、PRC-006A、
PRC-012A、PRC-018A、
PRC-003A-X、PRC-006A-X、
PRC-012A-X、PRC-018A-X
PRC-003A-F、PRC-006A-F、
PRC-012A-F、PRC-018A-F
大排氣量通用電機(jī)式樣羅茨泵
PMB-040C PMB-060C
羅茨泵小型MBS-053
羅茨泵用分離式支架
YMV-01A
YMV-03A
YMV-06A
YMV-12A
規(guī)范
抽速 (20°C) | 氮 | L/s | 10,000 |
氫 | 18,000 | ||
氬 | 8,400 | ||
水 | 29,000 | ||
極限壓力 | 帕(托) | 10-7(10-9) | |
*流量 | 氬 | Pa?L/s(Torr?L/s) | 1,1×103(8.7) |
排氣量 | 氬 | Pa?L (Torr?L) | 5,8×108(4.4×106) |
氫 | 4.6×106(3.4×10 元4) | ||
冷卻下降時(shí)間 (電源循環(huán)) |
*?。℉z) | 180/160(50/60) | |
進(jìn)氣法蘭 | UVG-500型 | ||
壓縮機(jī)組 | 產(chǎn)品 C30VRT | ||
質(zhì)量 | 公斤 | 69.0 |
2. 核心技術(shù)及產(chǎn)品
ULVAC的核心業(yè)務(wù)涵蓋:
真空設(shè)備:干式真空泵、分子泵、真空測(cè)量?jī)x器等。
鍍膜技術(shù)(PVD/CVD):用于半導(dǎo)體、光學(xué)薄膜、太陽能電池等。
半導(dǎo)體制造設(shè)備:濺射設(shè)備、蝕刻設(shè)備、封裝設(shè)備等。
分析測(cè)試儀器:X射線光電子能譜儀(XPS)、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術(shù):OLED蒸鍍?cè)O(shè)備、鋰電薄膜設(shè)備等。