F-REX 型是一種安裝在潔凈室上的 CMP 系統(tǒng)，可對晶圓表面進(jìn)行化學(xué)和機(jī)械拋光。 它具有經(jīng)過市場驗(yàn)證的高可靠性和*的工藝性能，可以以多種方式進(jìn)行配置以滿足所需的規(guī)格。 雙模塊化設(shè)計(jì)，工藝腔室之間沒有相互污染。 即使一個(gè)模塊停止，也可以自動切換到與另一個(gè)模塊一起運(yùn)行，并且在發(fā)生維護(hù)或故障時(shí)無需停止設(shè)備，從而實(shí)現(xiàn)高生產(chǎn)率。 此外，雙模塊系統(tǒng)可通過單個(gè)單元實(shí)現(xiàn)多流程處理。 我們不僅為大規(guī)模生產(chǎn)提供*設(shè)備配置，還為實(shí)驗(yàn)開發(fā)應(yīng)用提供*設(shè)備配置。