原裝進(jìn)口EBARA 荏原 RJ-XA 低溫冷卻器

2025/03/13 08:50:58

型號(hào) RJ-XA

用于符合全球環(huán)境法規(guī)的半導(dǎo)體制造設(shè)備的低 GWP 制冷劑冷卻器

體積小，功率大

水冷

內(nèi)置泵

低 GWP 制冷劑 R513A （GWP=629）

CE 標(biāo)志/SEMI/NRTL

減少占地面積

節(jié)能

不需要銅和黃銅材料（可選）

產(chǎn)品介紹

該用于半導(dǎo)體制造設(shè)備的冷水機(jī)組使用符合全球環(huán)境法規(guī)的低 GWP* 制冷劑（R513A）。通過(guò)逆變器控制可以降低功耗。
作為可選規(guī)格，它還提供不使用銅或黃銅材料作為接液部件的規(guī)格，從而降低了腐蝕風(fēng)險(xiǎn)。

規(guī)范

型			RJ-XA1V 系列
冷卻能力（50Hz/60Hz）		千瓦	3.7 （10°C 時(shí)） 6.1 （20°C 時(shí)）
溫度控制范圍		°C	5~40
溫度控制精度		°C	± 0.1
尺寸（寬 x 深 x 高）		毫米	375 x 1050 x 1150
質(zhì)量		公斤	160 （不包括循環(huán)液和冷卻水）
循環(huán)液	使用的流體		純水、*等
	壓力進(jìn)料泵容量	升/分鐘	20 （0.49MPa）
冷卻水	溫度范圍	°C	10~25
安全標(biāo)準(zhǔn)			SEMI（S2. S8. F47）、CE、NRTL
權(quán)力		V	三相 200~208
運(yùn)行控制方法			變頻器控制方法
使用的制冷劑			R513A（全球變暖值：629）

北崎8年，日本會(huì)社20年，專(zhuān)注領(lǐng)域如下：
儀器相關(guān)：
山高SANKO（代理）、東機(jī)產(chǎn)業(yè)TOKI（代理）、索尼克SONIC（代理）、東日技研DIT（代理）、杉山電機(jī)SUGIYAMA（代理）、愛(ài)安德AND(廠家合作）、飯島電子IIJIMA、東麗TORAY、共和KYOWA、愛(ài)安德AND、豪雅HOYA（代理）

備件設(shè)備相關(guān)：
柴田SIBATA(代理）、壺坂TSUBOSAKA（代理）、雅馬拓YAMATO、新光NEWKON（代理）、武藏MUSASHI（代理）、尼得科NIDEC（代理）、MRM(代理）、坂口電熱SAKAGUCHI（代理）、岡崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI（廠家合作）、山本鍍金YAMAMOTO、馳卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、東機(jī)理化EYELA、科庫(kù)森KOKUSAN

光源相關(guān)：
巖崎EYE（代理）、日森SEN（代理）、晰寫(xiě)速CCS（代理）、萊寶克斯REVOX（代理）、索萊克SERIC(代理）、普拉瑞POLARION、船越龍F(tuán)UNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、歐阿希ORC、賽納SENA、英富麗INFLIDGE

電氣控制：
SIEMENS西門(mén)子（廠家合作）、MITSUBISHI三菱，OMRON歐姆龍（廠家合作）、基恩士KEYENCE（廠家合作）

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