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ULVAC愛發(fā)科 低溫泵 CRYO-U8H-U
ULVAC愛發(fā)科 低溫泵 CRYO-U8H-U
ULVAC愛發(fā)科 低溫泵 CRYO-U8H-U
低溫泵是一種伸縮式真空泵,旨在實現(xiàn)從高真空到高真空的條件。 該泵將氣體冷凝并吸附安裝在內(nèi)部的低溫表面上,并有效地捕獲它們。 低溫泵的主要特點是可以提供無油污染的清潔真空。
此外,值得注意的是,低溫泵盡管使用吸附方式,但與其他真空泵相比,其抽速非常高。 因此,低溫泵被廣泛用于需要清潔高效真空環(huán)境的各個行業(yè)和研究部門。
在考慮安裝低溫泵時,其高性能和提供清潔真空環(huán)境的能力是一大優(yōu)勢。
長處
與 CTI 的 CT-8 低溫泵完全兼容。
與 CT-8 相比,氫氣的排氣特性更勝一籌
可進(jìn)行多次作(*多 3 臺)。
隔膜式干式真空泵
DAP-6D
DAP-9D-DC24
DA-15D
DA-30D
DAT-50D
DA-20D
DA-41D
DA-41DK
DA-60D
DA-121D
DA-121DC
DA-121DD
DA-121DE
DA-121DF
DAL-181D
DAP-12S
DAP-18S-DC24
DA-30S
DA-60S
DAT-100S
DAT-100SA
DA-40S
DA-40SA
DA-40SB
DA-40SC
DA-81S
DA-81SK
標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格
抽速 (20°C) | 氮 | L/s | 1,700 |
氫 | 2,700 | ||
氬 | 1,400 | ||
水 | 4,000 | ||
極限壓力 | 帕(托) | 10-7(10-9) | |
*流量 | 氬 | Pa?L/s(Torr?L/s) | 1,2×103(8.9) |
排氣量 | 氬 | Pa?L (Torr?L) | 1.0×108(7.6×10 元5) |
氫 | 1.0×106(7.6×10 元3) | ||
冷卻下降時間 (電源循環(huán)) |
*小(Hz) | 100/90(50/60) | |
進(jìn)氣法蘭 | UVG-200,6BANSI,UFC-253 | ||
壓縮機(jī)組 | C10T、C10AT | ||
質(zhì)量 | 公斤 | 20.8 |
2. 核心技術(shù)及產(chǎn)品
ULVAC的核心業(yè)務(wù)涵蓋:
真空設(shè)備:干式真空泵、分子泵、真空測量儀器等。
鍍膜技術(shù)(PVD/CVD):用于半導(dǎo)體、光學(xué)薄膜、太陽能電池等。
半導(dǎo)體制造設(shè)備:濺射設(shè)備、蝕刻設(shè)備、封裝設(shè)備等。
分析測試儀器:X射線光電子能譜儀(XPS)、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術(shù):OLED蒸鍍設(shè)備、鋰電薄膜設(shè)備等。