無菌電子廠房潔凈檢測必做項目 檢測機構(gòu)--安衡檢測

電子無塵車間檢測項目:氣流流型目測、空氣潔凈度等級、密閉性測試、靜壓差、噪聲、風(fēng)速或新風(fēng)量、溫度、相對濕度、照度、微振、自凈時間等

（五）日常監(jiān)測的采樣量可與潔凈度級別和空氣凈化系統(tǒng)確認時的空氣采樣量不同。（六）在A級潔凈區(qū)和B級潔凈區(qū)，連續(xù)或有規(guī)律地出現(xiàn)少量≥5.0 μm的懸浮粒子時，應(yīng)當進行調(diào)查。（七）生產(chǎn)操作全部結(jié)束、操作人員撤出生產(chǎn)現(xiàn)場并經(jīng)15～20分鐘（指導(dǎo)值）自凈后，潔凈區(qū)的懸浮粒子應(yīng)當達到表中的“靜態(tài)”標準。（八）應(yīng)當按照質(zhì)量風(fēng)險管理的原則對C級潔凈區(qū)和D級潔凈區(qū)（必要時）進行動態(tài)監(jiān)測。監(jiān)控要求以及警戒限度和糾偏限度可根據(jù)操作的性質(zhì)確定，但自凈時間應(yīng)當達到規(guī)定要求。（九）應(yīng)當根據(jù)產(chǎn)品及操作的性質(zhì)制定溫度、相對濕度等參數(shù)，這些參數(shù)不應(yīng)對規(guī)定的潔凈度造成不良影響。

電子廠房潔凈檢測必做項目  因為在過于干燥的廠房內(nèi)容易產(chǎn)生靜電，會損壞CMOS集成度。一般來說，電子車間的溫度應(yīng)控制在22℃左右，相對濕度應(yīng)控制在50-60之間（特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定）。此時，能有效消除靜電，讓人心情舒暢。芯片生產(chǎn)車間、集成電路潔凈室和磁盤制造車間是電子制造潔凈室的重要組成部分。

由于電子產(chǎn)品制造和生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和質(zhì)量的嚴格要求，主要目的是控制顆粒物和浮塵。作為主要對象，對環(huán)境的溫濕度、新風(fēng)量、噪音等也有嚴格的規(guī)定。

為確認A級潔凈區(qū)的級別，每個采樣點的采樣量不得少于1立方米。A級潔凈區(qū)空氣懸浮粒子的級別為ISO 4.8，以≥5.0μm的懸浮粒子為限度標準。B級潔凈區(qū)（靜態(tài)）的空氣懸浮粒子的級別為ISO 5，同時包括表中兩種粒徑的懸浮粒子。對于C級潔凈區(qū)（靜態(tài)和動態(tài)）而言，空氣懸浮粒子的級別分別為ISO 7和ISO 8。對于D級潔凈區(qū)（靜態(tài)）空氣懸浮粒子的級別為ISO 8。測試方法可參照ISO14644-1。

因為凈化工程的檢測主要關(guān)注兩種粒徑，即0.5um和5um。等速采樣對≤0.5um的顆粒影響不大。如果采樣空氣用于計算大于或等于 0.5um 的粒徑濃度，如果這些粒子不受等速條件的影響，則計算結(jié)果不受影響。因此潔凈室區(qū)域非等速采樣只對大于等于0.5um的顆粒有意義。

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