北崎供應(yīng)EBARA 荏原 G-WS 濕式廢氣處理器
北崎供應(yīng)EBARA 荏原 G-WS 濕式廢氣處理器
這是一種可以低成本安裝和運(yùn)行的濕式廢氣處理系統(tǒng)。 它不需要燃料，并且基于 EBARA 的副產(chǎn)品對策實(shí)現(xiàn)了長期維護(hù)周期，這些對策是在燃燒式廢氣處理設(shè)備中積累的 10 多年中培養(yǎng)的。 有助于穩(wěn)定運(yùn)行，降低維護(hù)成本和人工。 此外，維護(hù)空間僅在設(shè)備的前部。 即使在有限的 sub-fab 空間內(nèi)，也可以實(shí)現(xiàn)高度靈活的布局。
待處理氣體：可在室溫下處理的水溶性氣體，如 NH3、DCS、TiCl4、WF6、HF 和 HCl
| 型 | 單位 | G-WS1000 系列 | |
| *處理風(fēng)量 | 升/分鐘 | 1,000 | |
| 連接的入口數(shù)量 | 4 | ||
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外形尺寸
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毫米 | 寬914×D736×H1,727 | |
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效用
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水 | 升/分鐘 | 1 - 10 |
| 位移 | 升/分鐘 | 1 - 10 | |
| 氮 | 升/分鐘 | 15-50 | |
| 權(quán)力 | 1.8-3.5kW 三相 AC 200V （50/60Hz） | ||
| 排氣管道（處理氣體） | 1.5 | ||
| 排氣管 （外殼排氣） | 米3/分鐘 | 1.3 | |
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主要可處理氣體
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Epi 系列 | 鹽酸、DCS | |
| 心血管疾病 | 氟化鎂6、NH3、氯化鈦4、氯化鈍3、氟化硅3、硅化硅*、F2* | ||
| 蝕刻 | BCl3、HCl、HF、HBr、SiF4、Br2*、Cl2*、F2* | ||
| 阿瑟 | NH3 | ||
| 無法濕法處理的氣體 | H2、SiH4、PH3、GeH4、CH4、PFC（CF4、SF6、NF3）等。 | ||
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