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北崎供應(yīng)EBARA 荏原 RJ-CA 低溫冷卻器
北崎供應(yīng)EBARA 荏原 RJ-CA 低溫冷卻器
該冷水機(jī)將天然制冷劑 （CO2） 用于半導(dǎo)體制造設(shè)備。 內(nèi)置的緊湊型屏蔽泵和 Ebara 的變頻控制技術(shù)節(jié)省了空間和能源。 ± 0.1°C 的溫度控制成為可能，有助于提高工藝穩(wěn)定性和產(chǎn)量。
| 型 | RJ-CA1V 系列 | |||
| 冷卻能力 （50Hz/60Hz） | 千瓦 | 4.0 （-10°C 時(shí)） 10.0 （20°C 時(shí)） | ||
| 溫度控制范圍 | °C | -20~70°C | ||
| 溫度控制精度 | °C | ± 0.1 | ||
| 尺寸（寬 x 深 x 高） | 毫米 | 370 x 950 x 1080 | ||
| 質(zhì)量 | 公斤 | 190 （不含循環(huán)液或冷卻水） | ||
| 循環(huán)液 | 使用的流體 | FC-3283、HT135、SF-10 等 | ||
| 壓力進(jìn)料泵容量 | 升/分鐘 | 20 （0.76MPa） | ||
| 冷卻水 | 溫度范圍 | °C | 10~25 | |
| 安全標(biāo)準(zhǔn) | SEMI（S2. S8. F47）、CE、NRTL | |||
| 權(quán)力 | V | 三相 200~208 | ||
| 運(yùn)行控制方法 | 變頻器控制方法 | |||
| 使用的制冷劑 | R744（二氧化碳變暖潛值：1） | |||
| * 規(guī)格僅供參考。 | ||||
北崎8年，日本會(huì)社20年，專注領(lǐng)域如下：
儀器相關(guān)：
山高SANKO（代理）、東機(jī)產(chǎn)業(yè)TOKI（代理）、索尼克SONIC（代理）、東日技研DIT（代理）、杉山電機(jī)SUGIYAMA（代理）、愛安德AND(廠家合作）、飯島電子IIJIMA、東麗TORAY、共和KYOWA、愛安德AND、豪雅HOYA（代理）
備件設(shè)備相關(guān)：
柴田SIBATA(代理）、 壺坂TSUBOSAKA（代理）、雅馬拓YAMATO、新光NEWKON（代理）、武藏MUSASHI（代理）、尼得科NIDEC（代理）、MRM(代理）、坂口電熱SAKAGUCHI（代理）、岡崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI（廠家合作）、山本鍍金YAMAMOTO、馳卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、東機(jī)理化EYELA、科庫森KOKUSAN
光源相關(guān)：
巖崎EYE（代理）、日森SEN（代理）、晰寫速CCS（代理）、萊寶克斯REVOX（代理）、索萊克SERIC(代理）、普拉瑞POLARION、船越龍F(tuán)UNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、歐阿希ORC、賽納SENA、英富麗INFLIDGE
電氣控制：
SIEMENS西門子（廠家合作）、MITSUBISHI三菱，OMRON歐姆龍（廠家合作）、基恩士KEYENCE（廠家合作）
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