EBARA荏原 干式真空泵 ESA15-D

EBARA荏原 干式真空泵 ESA15-D

干式真空泵是一種在抽氣過(guò)程中不使用任何油或其他液體作為工作介質(zhì)的真空泵。與傳統(tǒng)的油封式真空泵相比，干式真空泵在操作過(guò)程中不會(huì)產(chǎn)生油蒸氣或油霧，從而避免了油污染問(wèn)題。干式真空泵通過(guò)機(jī)械方式直接抽除氣體，通常采用多級(jí)壓縮或特殊設(shè)計(jì)的轉(zhuǎn)子來(lái)實(shí)現(xiàn)高真空度。由于其無(wú)油、無(wú)污染的特性，干式真空泵在半導(dǎo)體制造、醫(yī)藥生產(chǎn)、食品加工等對(duì)潔凈度要求極高的行業(yè)中得到了廣泛應(yīng)用。

醫(yī)藥行業(yè)對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度和衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)要求極高，干式真空泵在這一領(lǐng)域也有廣泛應(yīng)用。在藥品生產(chǎn)和包裝過(guò)程中，干式真空泵用于真空干燥、真空蒸餾和真空過(guò)濾等工藝。例如，在凍干機(jī)（lyophilizer）中，干式真空泵通過(guò)提供無(wú)油真空環(huán)境，確保藥品在低溫下快速干燥，保持其活性和穩(wěn)定性。此外，干式真空泵還用于制藥設(shè)備中的真空輸送系統(tǒng)，確保原料和成品在無(wú)污染的條件下進(jìn)行高效傳輸。

干式真空泵有多種類型，常見(jiàn)的有爪式干泵、螺桿式干泵和渦旋式干泵等。爪式干泵通過(guò)兩個(gè)相互嚙合的爪形轉(zhuǎn)子實(shí)現(xiàn)氣體的吸入和排出，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、運(yùn)行平穩(wěn)的優(yōu)點(diǎn)。螺桿式干泵則利用兩根相互嚙合的螺桿轉(zhuǎn)子進(jìn)行氣體壓縮，適用于高流量和高真空度的場(chǎng)合。渦旋式干泵通過(guò)兩個(gè)相互錯(cuò)開(kāi)的渦旋盤來(lái)實(shí)現(xiàn)氣體的壓縮和排出，具有低噪音和高效率的特點(diǎn)。每種類型的干式真空泵都有其的優(yōu)勢(shì)和適用場(chǎng)景，用戶可以根據(jù)具體需求選擇合適的類型。

主要特點(diǎn)

無(wú)油污染：干式真空泵在運(yùn)行過(guò)程中不使用油或其他液體介質(zhì)，避免了油蒸氣對(duì)工藝環(huán)境的污染，特別適合對(duì)潔凈度要求極高的行業(yè)，如半導(dǎo)體和制藥。

低維護(hù)成本：由于無(wú)需定期更換油液或處理廢油，干式真空泵的維護(hù)成本較低，且運(yùn)行更加可靠。

環(huán)保性能優(yōu)越：干式真空泵減少了油類廢棄物的產(chǎn)生，符合現(xiàn)代工業(yè)對(duì)環(huán)保和可持續(xù)發(fā)展的要求。