EBARA荏原 干式真空泵 ESR500WN

EBARA荏原 干式真空泵 ESR500WN

干式真空泵有多種類型，常見的有爪式干泵、螺桿式干泵和渦旋式干泵等。

爪式干泵通過兩個相互嚙合的爪形轉子實現(xiàn)氣體的吸入和排出，具有結構簡單、運行平穩(wěn)的優(yōu)點。

螺桿式干泵則利用兩根相互嚙合的螺桿轉子進行氣體壓縮，適用于高流量和高真空度的場合。

渦旋式干泵通過兩個相互錯開的渦旋盤來實現(xiàn)氣體的壓縮和排出，具有低噪音和高效率的特點。

干式真空泵的工作原理主要依賴于機械運動部件，如轉子、葉片或螺桿，來壓縮和排出氣體。這些運動部件在泵腔內(nèi)高速旋轉，形成多個密閉的工作腔室。隨著轉子的轉動，氣體被吸入工作腔室，隨后被壓縮并排出泵外。由于整個過程無需任何液體介質，干式真空泵能夠提供潔凈的真空環(huán)境，避免了油污染和介質殘留問題。

干式真空泵的優(yōu)點

干式真空泵相較于傳統(tǒng)油封式真空泵具有諸多顯著優(yōu)點，這些優(yōu)點使其在現(xiàn)代工業(yè)應用中備受青睞。

干式真空泵無需使用油或其他液體作為工作介質，因此在操作過程中不會產(chǎn)生油蒸氣或油霧。這一特性不僅避免了油污染問題，還確保了工作環(huán)境的潔凈度。在半導體制造和醫(yī)藥生產(chǎn)等對潔凈度要求極高的行業(yè)中，干式真空泵的這一優(yōu)勢尤為重要。無油操作還意味著減少了油處理和更換的頻率，降低了維護成本和停機時間。