EBARA荏原 渦輪分子泵 EBT350F

EBARA荏原 渦輪分子泵 EBT350F

渦輪分子泵應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體制造：在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，渦輪分子泵用于光刻、薄膜沉積、離子注入和蝕刻等工藝，提供高潔凈度的真空環(huán)境。

科學(xué)研究：在粒子加速器、核聚變實(shí)驗(yàn)、表面物理和材料科學(xué)等領(lǐng)域，渦輪分子泵用于實(shí)現(xiàn)高真空環(huán)境。

航空航天：用于模擬太空環(huán)境，測(cè)試航天器部件在真空條件下的性能。

光學(xué)鍍膜：在光學(xué)鏡片、濾光片和激光元件的鍍膜工藝中，渦輪分子泵提供無污染的真空條件。

分析儀器：用于質(zhì)譜儀、電子顯微鏡和同步輻射裝置等精密儀器中，確保高真空環(huán)境的穩(wěn)定性。

醫(yī)療設(shè)備：在放射性同位素生產(chǎn)和醫(yī)療成像設(shè)備中，渦輪分子泵用于維持高真空環(huán)境。

渦輪分子泵優(yōu)點(diǎn)

高真空性能：渦輪分子泵能夠?qū)崿F(xiàn)高真空（10^-10 Pa級(jí)別），滿足高精度工藝和科學(xué)實(shí)驗(yàn)的需求。

無油污染：由于無需油液潤(rùn)滑，渦輪分子泵特別適合對(duì)潔凈度要求極高的行業(yè)，如半導(dǎo)體和光學(xué)鍍膜。

高效抽氣：對(duì)輕質(zhì)氣體和中質(zhì)氣體具有較高的抽氣速度，能夠快速建立并維持真空環(huán)境。

長(zhǎng)壽命和低維護(hù)：渦輪分子泵的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)精密，運(yùn)行穩(wěn)定，維護(hù)成本低，使用壽命長(zhǎng)。

環(huán)保節(jié)能：無油運(yùn)行減少了油類廢棄物的產(chǎn)生，符合環(huán)保要求；同時(shí)，現(xiàn)代渦輪分子泵采用高效電機(jī)和變頻控制技術(shù)，進(jìn)一步降低了能耗。

適應(yīng)性強(qiáng)：能夠處理多種氣體，包括腐蝕性氣體和易凝結(jié)氣體，適用范圍廣泛。